Polyimide V-groove joints for three-dimensional silicon transducers - exemplified through a 3-D turbulent gas for sensor and micro- robotic devices
- Författare
- Tekniska högskolan i Stockholm Thorbjörn Ebefors
- (Thorbjörn Ebefors., Härtill 6 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk.)
- Genre
- theses, Avhandlingar
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Tekniska högsk., KTH högskoletr. | 2000 | Sverige, Stockholm, Stockholm | viii, 144 sidor. ill. 25 cm |